1、石墨坩埚严防湿润,存放时必需放在干燥处或木架上。2、搬运时轻拿轻放,严禁摔震。3、运用前需在干燥设备或炉旁热烘烤,温度逐升到 500℃。4、坩埚应放在炉口平面以下防范炉盖磨损坩埚上口。5、加料时应根据坩埚溶量,不可加料太多,太紧防范紧缩坩埚。
清炉是个技术活,清炉不---,将影响到单晶的正常生长,轻者,无---常生长单晶,重者,将会导致停炉,大家在清理单晶炉中应该注意到几点:1、尽量将喷溅到石墨部件上的硅滴去除,劣化---的石墨件要向主任报告及时更换。2、用刷子和吸尘器清理各种石墨件,一定要注意清理管道的重要性。3、石墨件要轻拿轻放,避免石墨件受损。4、清理干净的石墨件,应放在干净的不锈钢推车上,避免二次污染。
石墨坩埚在热场系统中的功能,直拉法生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法,热场系统是硅材料成晶的重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺利地拉出单晶和控制单晶的---坏。因而热场的设计和改进对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。
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