每一类石墨制品都有自己的特点,我们在这里所提到的石墨大部分都是人造石墨,石墨根据压制方法不同被分为高纯石墨、等静压石墨、挤压石墨等,在石墨材料的选择上在行业内是被选为挑选标准:石墨材料的抗折抗压强度,在石墨制品材料的选择中,材料的抗折强度是材料强度的直接体现,现实材料内部结构的紧密程度,通化碳素石墨坩埚,强度高的材料,其放电的耐损耗性能相对较好,对于精度要求高的电极,尽量选择强度较好的材料。
在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为关键部件的主要作用有如下几点:(1)高温承载作用:装满多晶硅原料的石英坩埚要置于石墨坩埚里面,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等原料的重量,---高温石英坩埚变软后,原料不会泄漏出来,并且在拉晶过程中要承载原料做旋转运动,因此,对其力学性能要求比较高;(2)传热作用:坩埚通过自身优良的导热性能,传导多晶硅原料融化所需的热量,融化温度在1600℃左右,因此,坩埚必须要有---的高温导热性能。
石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用,直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,碳素石墨坩埚采购,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
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