石墨坩埚在热场系统中的功能,直拉法生产单晶硅是目前制备单晶硅的主要方法,热场系统是硅材料成晶的重要的条件之一,热场的温度梯度分布直接影响着是否能顺利地拉出单晶和控制单晶的---坏。因而热场的设计和改进对一个有竞争力的拉晶厂家来说非常重要。
在拉制单晶的过程中,石墨坩埚作为关键部件的主要作用有如下几点:(1)高温承载作用:装满多晶硅原料的石英坩埚要置于石墨坩埚里面,石墨坩埚要承载石英坩埚和多晶硅等原料的重量,---高温石英坩埚变软后,原料不会泄漏出来,并且在拉晶过程中要承载原料做旋转运动,因此,对其力学性能要求比较高;(2)传热作用:坩埚通过自身优良的导热性能,融金石墨坩埚尺寸,传导多晶硅原料融化所需的热量,融化温度在1600℃左右,因此,坩埚必须要有---的高温导热性能。
石墨坩埚的种类大体分为三大类:类炼铜坩埚;第二类为炼铜合金坩埚,特圆形有100个号,圆形有100个号,第三种炼钢用的坩埚,有100个号。
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