石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用,直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
1.抗裂性能佳、耐溶损和耐氧化---是普通石墨坩埚的5-10倍。2.缩短溶解时间、传热性好,导热率高、省能源---会节省能源2/5-1/3。3.使用---。3.增效率---减低的时间与成本。
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在购买石墨碳化硅坩埚的过程中一定要注意型号尺寸,对碳化硅坩埚使用方法、参数情况做了解,如果是条件允许的话,大家尽量多去一些厂家里进行一些了解,因为就目前的情况来说,熔铝石墨坩埚厂家加工,我国生产的碳化硅坩埚价格型号还是比较多的,不同的厂家生产的产品可能也会有一定的差距。
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