坩埚的生产原料,可概括为三大类型。一是结晶质的天然石墨,二是可塑性的耐火粘土,三是经过煅烧的硬---岭土类骨架熟料。近年来,我们也开始采用耐高温的合成材料,如:碳化硅、氧化铝金刚砂及硅铁等做坩埚的骨架熟料。这种熟料对提高坩埚产品,增强坩埚密度和机械强度有着---效果。
在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,通过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有很多,其中石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键。
石墨坩埚的生产及其本身具有以下特点:
1、生产工序比较长,每一个环节都是一个高耗能、高耗材的过程;
2、直拉单晶炉用石墨坩埚,主要采用等静压高纯石墨制成,要---度较高,高纯度石墨坩埚地址,生产大尺寸石墨坩埚成型困难,加工难度大,难以---;
3、石墨坩埚做成多瓣,结构复杂,连接部位磨损快,高纯度石墨坩埚厂址,容易漏硅,危害热场;
4、石墨坩埚脆性大,强度低,反复急热、急冷使用时容易开裂,使用寿命比较短。
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