在真空炉中热场是决定单晶硅好坏的决定因素,通过对石墨热场的了解,决定热场石墨组件的好坏的因素有很多,其中石墨原材料的选择和加工工艺上非常关键。
石墨热场以及部件在单晶硅的制造中起着关键的载体作用,直拉单晶炉的热系统,也就是所谓的热场,是指为了熔化硅料,并使单晶生长保持在一定温度下进行的整个系统。热场一般包括(石墨材料)压环、保温盖、上中下保温罩、石墨坩埚(三瓣埚)、坩埚托杆、坩埚托盘、电极、加热器、导流筒、石墨螺栓,且为了防止漏硅,冶炼石墨坩埚厂家电话,炉底、金属电极、托杆、都设置了保护板、保护套。
以石墨材料作为主体材料的化工设备称为石墨制化工设备。目前应用的石墨设备绝大多数为不透性石墨制造的,但也有某些设备所用的石墨材料是微透的,例如hcl合成炉,有的则必须渗透的,如转鼓式石墨真空过滤机、石墨过滤器、碳质动力形成膜,因后者出现较晚,冶炼石墨坩埚批发价格,尤其透性石墨设备直至20世纪70年代才问世,因而习惯---石墨设备称之为“不透性石墨设备”。
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